1. <small id="79q7h"></small>

      1. <td id="79q7h"></td>
        <small id="79q7h"><input id="79q7h"></input></small>
            1. <source id="79q7h"><tr id="79q7h"></tr></source>
              <p id="79q7h"><ins id="79q7h"><label id="79q7h"></label></ins></p>

                  1. 日韩精品一区二区久久_亚洲精品久久久久国色天香_中文人妻aⅴ一区二区三区_91人人艹_来一水AV@lysav

                    技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) >技術(shù)文章 >機(jī)臺(tái)如何蒸鍍

                    機(jī)臺(tái)如何蒸鍍

                    更新時(shí)間:2020-09-09   點(diǎn)擊次數(shù):2074次

                    蒸鍍就加熱方式差異,分為電阻式(thermalcoater)與電子槍式(E-gunevaporator)兩類(lèi)機(jī)臺(tái)。前者在原理上較容易,就是直接將準(zhǔn)備熔融蒸發(fā)的金屬以線(xiàn)材方式掛在加熱鎢絲上,一旦受熱熔融,因液體表面張力之故,會(huì)攀附在加熱鎢絲上,然后徐徐蒸著至四周(包含晶圓)。因加熱鎢絲耐熱能力與供金屬熔液攀附空間有限,僅用于低熔點(diǎn)的金屬鍍著,如鋁,且蒸著厚度有限。電子槍式蒸鍍機(jī)則是利用電子束進(jìn)行加熱,熔融蒸發(fā)的金屬顆粒全擺在石墨或鎢質(zhì)坩堝(crucible)中。待金屬蒸氣壓超過(guò)臨界限度,也開(kāi)始徐徐蒸著至四周(包含晶圓)。電子槍式蒸鍍機(jī)可蒸著熔點(diǎn)較高的金屬,厚度也比較不受限制。蒸鍍法基本上有所謂階梯覆披(stepcoverage)不佳的缺點(diǎn)。也就是說(shuō)在起伏較劇烈的表面,蒸著金屬有斷裂不連續(xù)之虞。另外,多片晶圓的大面積鍍著也存在厚度均勻的問(wèn)題。為此,芯片之承載臺(tái)加上公自轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu),便用于上述兩問(wèn)題之改善

                    日韩精品一区二区久久_亚洲精品久久久久国色天香_中文人妻aⅴ一区二区三区_91人人艹_来一水AV@lysav
                    1. <small id="79q7h"></small>

                      1. <td id="79q7h"></td>
                        <small id="79q7h"><input id="79q7h"></input></small>
                            1. <source id="79q7h"><tr id="79q7h"></tr></source>
                              <p id="79q7h"><ins id="79q7h"><label id="79q7h"></label></ins></p>

                                  1. 澄江县| 尉犁县| 综艺| 屏南县| 台江县| 哈巴河县| 沙田区| 石首市| 台东市| 青铜峡市| 措勤县| 竹北市| 白水县| 龙口市| 承德县| 晋城| 元谋县| 巩义市| 大石桥市| 吉林省| 监利县| 阿拉善盟| 中卫市| 玉树县| 屏南县| 安国市| 馆陶县| 太仆寺旗| 精河县| 平阴县| 鲁甸县| 即墨市| 和平县| 太仆寺旗| 施秉县| 台东市| 东乡族自治县| 凯里市| 鞍山市| 嵩明县| 莎车县|