1. <small id="79q7h"></small>

      1. <td id="79q7h"></td>
        <small id="79q7h"><input id="79q7h"></input></small>
            1. <source id="79q7h"><tr id="79q7h"></tr></source>
              <p id="79q7h"><ins id="79q7h"><label id="79q7h"></label></ins></p>

                  1. 日韩精品一区二区久久_亚洲精品久久久久国色天香_中文人妻aⅴ一区二区三区_91人人艹_来一水AV@lysav

                    技術(shù)文章您的位置:網(wǎng)站首頁 >技術(shù)文章 >刻蝕工藝

                    刻蝕工藝

                    更新時間:2020-10-21   點(diǎn)擊次數(shù):3602次

                    刻蝕是用化學(xué)或物理的方法有選擇地從硅片上去除不需要材料的過程。刻蝕是在硅片上進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移的后主要工藝步驟。半導(dǎo)體刻蝕工藝有兩種基本方法:干法刻蝕和濕法腐蝕。干法刻蝕是亞微米尺寸下刻蝕器件的主要方法,濕法腐蝕使用液體腐蝕的加工方法,主要用于特征尺寸較大的情況。

                    按照被刻蝕材料來分,干法刻蝕主要分成:金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕和硅刻蝕。刻蝕也可以分成有圖形刻蝕和無圖形刻蝕。有圖形刻蝕可用來在硅片上制作不同圖形,例如柵、金屬互連線、通孔、接觸孔和溝槽。無圖形刻蝕用于剝離掩蔽層。有圖形或無圖形刻蝕都可以分別采用干法刻蝕或濕法腐蝕。

                    刻蝕的主要工藝參數(shù)有:刻蝕速率、刻蝕剖面、刻蝕偏差、選擇比、均勻性、殘留物、聚合物、等離子體誘導(dǎo)損傷、顆粒玷污和缺陷。

                    日韩精品一区二区久久_亚洲精品久久久久国色天香_中文人妻aⅴ一区二区三区_91人人艹_来一水AV@lysav
                    1. <small id="79q7h"></small>

                      1. <td id="79q7h"></td>
                        <small id="79q7h"><input id="79q7h"></input></small>
                            1. <source id="79q7h"><tr id="79q7h"></tr></source>
                              <p id="79q7h"><ins id="79q7h"><label id="79q7h"></label></ins></p>

                                  1. 泰州市| 宿松县| 吉木乃县| 金沙县| 宜君县| 科技| 美姑县| 东城区| 大厂| 沙雅县| 怀安县| 金寨县| 木兰县| 育儿| 金阳县| 郓城县| 社会| 荣昌县| 洪江市| 平塘县| 贵定县| 南投市| 紫云| 平远县| 雷州市| 昆山市| 邯郸县| 犍为县| 西昌市| 通州市| 星子县| 丰城市| 名山县| 鄯善县| 香港| 黄浦区| 宁都县| 徐州市| 沾益县| 板桥市| 昂仁县|